三甲基硅烷气体密度是多少

三甲基硅烷是一种有机硅化合物，其化学式为Si(CH3)3H。在常温下，三甲基硅烷呈气态，它的密度约为1.64 kg/m³。

三甲基硅烷是一种无色、无味、易挥发的气体，具有良好的化学稳定性和热稳定性。由于其化学性质的特殊性，三甲基硅烷在半导体、化工、医药等领域得到广泛应用。

在半导体制造过程中，三甲基硅烷常用作化学气相沉积（CVD）的前体气体，可用于生长硅氧化物薄膜。此外，三甲基硅烷还可以用作涂料、粘合剂和防水剂的成分，在化工和建筑材料行业中发挥重要作用。

总之，三甲基硅烷是一种密度较小且具有广泛用途的气体，其在各个领域中的应用前景十分广阔。